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Plasma Etching Daniel L. Flamm , Dennis M. Manos Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching... Editeur : Academic Press Parution : 1989-09-08 ePub 57,97 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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